激光切割機(jī)的切割精度與激光器產(chǎn)生的激光輸出功率有關(guān)外，還有一個(gè)較為重要的關(guān)鍵點(diǎn)在于激光切割機(jī)的精密定位。關(guān)于定位技術(shù)所存在的問題，是如何使微細(xì)領(lǐng)域的定位技術(shù)擴(kuò)展到更廣的領(lǐng)域，盡管已有報(bào)告提出僅利用衛(wèi)東螺絲可達(dá)到納米精度的超精密定位，但大多數(shù)情況下，并不能以簡單的進(jìn)給機(jī)構(gòu)來完成。
尤其是像機(jī)器人哪樣，以多于一個(gè)自由度的位置、姿勢(shì)（旋轉(zhuǎn)）為目的的多自由度結(jié)構(gòu)，要求必須備有粗微動(dòng)結(jié)構(gòu)。而且對(duì)多自由度的微動(dòng)結(jié)構(gòu)，為了能精密地控制運(yùn)動(dòng)對(duì)象在任意方向的運(yùn)動(dòng)，各自由度方向具有相同的運(yùn)動(dòng)特性，這一段也是很重要的。
若能很好地利用像采用旋轉(zhuǎn)體導(dǎo)向、滾動(dòng)這樣在細(xì)微領(lǐng)域中所變現(xiàn)的特性的話，便能實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)單位技術(shù)。此外還有報(bào)告提出，利用滾子和滑子之間的摩擦驅(qū)動(dòng)特性實(shí)現(xiàn)納米級(jí)超精密定位。
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